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净化工程的特性有哪些呢?

浏览: 0 发布时间:2024/08/21

净化工程的特性主要包括对环境参数的严格控制、建筑结构与布局的特定要求、以及火灾安全考虑。‌

 ‌环境参数控制‌:

温度和湿度管理:例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,对掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数差要求越来越小,需要保持±0.1度的恒温,并且湿度一般较低,以避免对人出汗对产品的污染。适宜湿度范围为35—45%,以防止静电和灰尘的吸附‌。

气压和气流速度规定:为了防止外界污染侵入,净化空间需要保持内部压力高于外部,且洁净度级别高的空间压力要高于相邻的低级别空间。气流速度和分布也有严格规定,以确保空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物被有效排除‌。

 ‌建筑结构与布局‌:

净化工程多采用钢筋混凝土结构,厂房通常分隔成若干小间,以减少外界干扰。建筑常处于密闭状态,少窗少门,内部设备昂贵且怕高温、忌水‌。

内部结构复杂,通道曲折,不利于发现火情和处理初期火灾。安全出口少,纵深距离长,火灾发生后易迷失方向‌。

 ‌火灾安全考虑‌:

净化工程因工艺要求常处于密闭状态,发生火灾时烟气热量不易散出,容易造成烟气滞留和热量剧增。通风管道、电气线路套管、技术夹层等彼此串通,易导致烟热气流向其他房间快速蔓延‌。

综上所述,净化工程不仅需要对环境参数进行精细控制,还涉及到特殊的建筑结构和布局设计,以及严格的火灾安全措施,以确保生产过程的顺利进行和产品的质量‌。

净化工程.jpg

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