净化工程对于光学微电子行业有以下两种方案可供选择

在烟台净化工程的设计过程中，要加强对光微电子行业净化工程设计计划的剖析和理解，依据工程是新建工程还是老厂改造工程，结合具体的出产工艺、出产流程等要求，确认所需的洁净度、温度和湿度。然后依据项目的具体情况，同时考虑厂家的经济承受能力，确认选用什么样的净化计划，从而设计出能满足甲方出产使用要求的计划，工程造价合理，经济节能有用。

1.组合式空调机组+冷水机组+高效送风出口

这是空调系统最传统的设计。组合式空气处理单元包括各种功能部分，如混合部分、初级过滤部分、外表冷却部分、二次回风部分(或中间部分)、加热部分、加湿部分、中效过滤部分、风扇部分等。冷源由冷却器供给。

优势:A.空气处理作用好，由于空气处理会集，供气过程中污染程度低。送风的温度和湿度操控精确；B.更适合冷源会集或厂房较大的车间；C.空调冷热源能够与普通空调系统结合，也能够与独立的冷热源结合；D.保护频率低；E.车间里的噪音很低。

缺陷:A.热泵机组需求有配套的冷藏室或室外空间。此外，需求有一个空调房间来放置组合式空气处理装置，如25000m3 / h的组合式空气处理装置。常用的总尺寸约为6450 × 1850 × 2250 mm，老厂改造工程难以腾出20-30m的机房；B.成本高。

特征:A.主张新风会集处理后与回风混合，以减轻外表冷却段的冷处理负担；C.这种计划一般能够适用于洁净度较高的洁净无尘车间，如100、1000、10000、100000等。

2.光微电子行业净化工程设计计划剖析

与前一种计划相比，这是一种相对简略的空调计划。它能够大大削减机房的面积，水冷柜能够依据具体情况安置在较小的机房或烟台净化车间，增压风机柜也能够安置在机房内或悬挂在机房内或夹层内。

优势:A.空气处理作用更好，供气过程中处理后的空气污染程度低。送风的温湿度操控作用能够达到很好的操控。主要操控在空气处理单元(增压空气柜)；B.布局灵活。有冷源；C.巨细作坊，新旧作坊均适用；D.保护频率低；E.车间里的噪音很低。

缺陷:A.它需求一个小房间。需求冷却塔和冷却水泵的方位；B.空调机组和空调处理机组应会集安置；C.成本低。特色:该计划可一次回风或二次回风，视车间巨细而定；这种计划一般适用于清洁度为1000、10000、100000的无尘车间。